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名 稱 】: 《銅拋光液配方 銅拋光方法 黃銅化學(xué)拋光工藝專利技術(shù)》
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銅拋光液配方 銅拋光方法 黃銅化學(xué)拋光工藝專利技術(shù)

1. 85102657 銅鋅合金表面的電拋光方法  
2. 98120987 用于銅的化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)漿液以及用于集成電路制造的方法  
3. 98810443 拋光銅膜后清潔處理半導(dǎo)體襯底的方法和設(shè)備  
4. 99809560 用于銅/鉭基材的化學(xué)機(jī)械拋光漿料  
5. 99809559 用于銅/鉭基材的化學(xué)機(jī)械拋光漿料  
6. 99806193 用于銅基材的化學(xué)機(jī)械拋光漿料  
7. 99801686 拋光銅膜后清潔處理半導(dǎo)體襯底的方法和設(shè)備  
8. 99111902 銅基材料表層的機(jī)械化學(xué)拋光方法  
9. 00810546 拋光混合物和減少硅晶片中的銅混入的方法  
10. 01811444 研磨無機(jī)氧化物顆粒的漿液以及含銅表面的拋光方法  
11. 01817653 一種化學(xué)-機(jī)械拋光銅鑲嵌結(jié)構(gòu)所用的漿料  
12. 02806870 銅-氧化物大馬士革結(jié)構(gòu)的化學(xué)機(jī)械拋光  
13. 02116761 超大規(guī)模集成電路多層銅布線中銅與鉭的化學(xué)機(jī)械全局平面化拋光液  
14. 02114147 銅化學(xué)-機(jī)械拋光工藝用拋光液  
15. 02107908 改善拋光不均勻度的方法和制作嵌入式銅金屬層的方法  
16. 02116759 超大規(guī)模集成電路多層銅布線用化學(xué)機(jī)械全局平面化拋光液  
17. 200380101871 化學(xué)機(jī)械拋光銅表面用的腐蝕延遲拋光漿液  
18. 03810974 銅和阻障層之整合化學(xué)機(jī)械拋光的方法和設(shè)備  
19. 03151420 用于銅布線化學(xué)機(jī)械拋光的清洗液提供裝置  
20. 200380108506 用于銅膜平面化的鈍化化學(xué)機(jī)械拋光組合物  
21. 200380105929 拋光和/或清潔銅互連和/或薄膜的方法及所用組合物  
22. 200380105924 拋光和/或清潔銅互連和/或薄膜的方法及所用的組合物  
23. 200380105203 使用磺化兩性試劑的銅化學(xué)機(jī)械拋光溶液  
24. 03152491 用于拋光銅基金屬的漿  
25. 200510026996 集成電路銅互連一步化學(xué)機(jī)械拋光工藝及相應(yīng)納米拋光液  
26. 200510030870 銅的化學(xué)機(jī)械拋光漿料  
27. 200680039784 銅/釕基板的化學(xué)機(jī)械拋光方法  
28. 200610014302 ULSI多層銅布線化學(xué)機(jī)械拋光中平整度的控制方法  
29. 200610014300 ULSI多層銅布線化學(xué)機(jī)械拋光中碟形坑的控制方法  
30. 200610014301 ULSI多層銅布線化學(xué)機(jī)械拋光中粗糙度的控制方法  
31. 200680027293 銅純化的化學(xué)機(jī)械拋光后清洗組合物及使用方法  
32. 200610107031 銅制品拋光劑的制造方法  
33. 200710156727 銅片襯底的半固著磨粒拋光方法  
34. 200710099942 H62黃銅拋光液及其制備方法  
35. 200780045436 用于拋光鑲嵌結(jié)構(gòu)中的鋁/銅及鈦的組合物  
36. 200780043352 含沸石的用于銅的化學(xué)機(jī)械拋光組合物  
37. 200780040805 銅/釕/鉭基材的化學(xué)機(jī)械拋光  
38. 200710172362 一種用于銅制程的化學(xué)機(jī)械拋光液  
39. 200710172357 一種用于銅制程的化學(xué)機(jī)械拋光液  
40. 200710047467 一種金屬銅的拋光液  
41. 200710047465 一種金屬銅的拋光液  
42. 200780016655 含銅基底的化學(xué)機(jī)械拋光方法  
43. 200710164697 在化學(xué)機(jī)械拋光期間調(diào)節(jié)低k對(duì)銅除去速率的方法和漿料  
44. 200710026159 銅拋光中用的納米二氧化硅磨料拋光液  
45. 200710106575 用于銅膜平面化的鈍化化學(xué)機(jī)械拋光組合物  
46. 200880117903 銅鈍化化學(xué)機(jī)械拋光組合物和方法  
47. 200880115691 包含N-取代的咪唑的拋光組合物和將銅膜拋光的方法  
48. 200880104906 包含離子型聚電解質(zhì)的銅化學(xué)機(jī)械拋光組合物及方法  
49. 200810226330 銅化學(xué)機(jī)械拋光方法  
50. 200810117832 一種集成電路銅布線的無磨粒化學(xué)機(jī)械拋光液  
51. 200820205660 銅桿拋光機(jī)  
52. 200910050941 一種建立銅互連化學(xué)機(jī)械拋光工藝模型的方法  
53. 200910215848 制造銅互連的阻擋層拋光的CMP漿料組合物、使用其的拋光方法及通過其制造的半導(dǎo)體器件  
54. 200910187630 高去除率、低損傷的銅化學(xué)機(jī)械拋光液及制備方法  
55. 200910187633 降低銅化學(xué)機(jī)械拋光粗糙度的拋光液  
56. 200910112394 黃銅化學(xué)拋光液及其配制方法  
57. 200910004748 拋光含銅的圖案化晶片  
58. 201010231553 超大規(guī)模集成電路銅布線表面低壓化學(xué)機(jī)械拋光方法  
59. 201010232256 超大規(guī)模集成電路多層銅布線化學(xué)機(jī)械拋光后的潔凈方法
銅拋光液配方 銅拋光方法 黃銅化學(xué)拋光工藝專利技術(shù)
銅拋光液配方 銅拋光方法 黃銅化學(xué)拋光工藝專利技術(shù)
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